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レーザーアニーラー
TFT液晶の量産工程に利用されている装置がアニーラーです。ガラス基板に安い材料を使うために低温プロセスであるアニーラーを使って高精細なTFT液晶が作られています。ガラスに成膜されたシリコン薄膜をアニーラーによりポリシリコンに改質します。主流となるレーザーはエキシマレーザーですが最近ではハイパワーのグリーンレーザーを搭載したシステムも登場しています。

メーカー
販売店
波長
詳細
ULVAC
株式会社アルバック
ULVAC, Inc.
日本

リクエスト
株式会社アルバック


JSW
株式会社日本製鋼所
The Japan Steel Works, Ltd.
日本

リクエスト
株式会社日本製鋼所


JSW
住友重機械メカトロニクス株式会社
Sumitomo Heavy Industories Mechatronics, Ltd.
日本

リクエスト
住友重機械メカトロニクス株式会社


SOPRA
SOPRA SA
ソプラ
フランス

リクエスト
西華産業株式会社


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