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PLD(レーザー製膜装置)
PLDとはPulsed Laser Deposition(パルスレーザデポジション)法の略で、真空チャンバー中に置かれたターゲット材料にパルスレーザを照射し、光化学反応によりアブレーションした物質を対向する基板に堆積させるという、成膜法のひとつです。PLD法は、酸化物のような高融点物質の成膜が簡単に行えたり、ターゲット材の性能を薄膜化できたりと、多の成膜法では難しい薄膜を作成することが出来ます。

メーカー
販売店
波長
詳細
AOV株式会社
AOV株式会社
AOV Co., Ltd.
日本

リクエスト
AOV株式会社
紫外線(UV)

ピーブイディー
PVD Products, Inc.
ピーブイディー
アメリカ

リクエスト
丸文株式会社


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