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マンスリーマガジン(O PLUS E 9月号)

月刊 「O PLUS E
毎月25日発行 (アドコム・メディア株式会社

光を学術的観点で捉える
O PLUS E は含蓄深い連載で業界一の定評をもつ光技術・画像技術の月刊誌です。話題のテーマを重厚な特集論文として紹介、またホットな光技術や画像技術関連のニュースをいち早くお届けします。
その他にも展示会や学術関連のイベントカレンダー、ミニファイルでは1ヶ月間の新聞記事の要約を紹介しています。もちろん新製品情報満載のNew Productsも見逃せません。
 

O PLUS E 9月号

◆特集 限界に挑戦する最新リソグラフィー
・特集のポイント
 [O plus E 編集部]
・液浸露光装置 S620D ― ダブルパターニング世代の新プラットホーム [Streamlign ―
 [ニコン 河野 博高,柴崎 祐一]
・マイクロミラーを用いたプログラマブル照明“FlexRay”
 [エーエスエムエル・ジャパン 宮崎 順二]
・EUV リソグラフィー
 [半導体先端テクノロジーズ 田中 裕之]
・対称性による収差低減が生きるキヤノンの液晶露光装置
 [キヤノン 大竹 雅裕]
・NuTeraTM HD7000
 [モレキュラー・インプリンツ 高津 紀彦]
・Hp32nm 以細を実現する最先端電子ビームマスク描画装置EBM-7000
 [ニューフレアテクノロジー 上久保 貴司]
・光学系の結像限界を引き出すソース・マスク・オプティマイゼーション
 [ルネサス エレクトロニクス 内山 貴之,吉持 一幸]
・マスク検査技術 ―極限の検査で見えてくる光学系の不思議―
 [トプコン f田 聡]
・次世代リソグラフィーの実現を左右するプロセス技術
 [JSR 木村 徹]
・露光装置の性能を最大限活用する APC/AEC
 [ニコン 鈴木 一明]

◆連載
・第9・光の鉛筆 26 測距儀1 Barr & Stroud
 [ニコン 鶴田 匡夫]
・波動光学の風景 第62回 64. グリーンの定理
 [東芝 本宮 佳典]
・入試問題に学ぶ光のあれこれ 第18回 宇宙背景放射中の光圧
 [日本大学 柴田 宣]
・コンピュータ イメージ フロンティア  VFX映画時評
 [Dr. SPIDER]
・緊急企画
 画像センシング展2010 招待講演 「ロボットに使える最新画像処理技術 ―物体認識のための画像局所特徴量―」
 [中部大学 藤吉 弘亘]
・私の発言 「弱小メーカーのとるべき戦略を考え抜く幸運に恵まれました」(前編)
 [モレキュラー・インプリンツ・インク 溝上 裕夫]
・一枚の写真
 軟X線レーザー干渉計で見るナノスケールの表面形状変化
 [日本原子力研究開発機構 河内 哲哉]

◆コラム
・ホビーハウス
 「食べ物が拡大レンズに」
・非凡なる凡人 私のなかの松下幸之助
 「ビデオディスク戦国時代」
・オフサイド
 「桁(ケタ)の話」







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