レーザー発振器 LD励起 固体パルスレーザー

LD励起 固体パルスレーザー(VIS:可視光 / パルス幅:fs / 波長: 515nm-532nm)

メーカー|コヒレント(アメリカ)
モデル名|Monaco 1064
販売店名|コヒレント・ジャパン株式会社

Monacoは、堅牢性の高いLD励起MOPAデザインで24時間稼働の生産用途に最適なモデルです。オシレータ部とアンプ部が一体化されたワンボックス構造で、メンテナンス頻度を低減しながら性能を維持するために、アクティブクリーニング機能PureFemtoTMが施された密閉シールド内に、励起光源やアンプ部品といった各種コンポーネントがパッケージされています。 またそのヘッド内に、光学部品や電気部品、制御ボードなどが全て搭載されているため、励起光源用ファイバーのみならず各種配線の煩わしさもありません。
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
Monaco 517-20-20 517nm 20W 1Hz-1MHz 20μJ
Monaco 517-40-20 517nm 20W 1Hz-1MHz 40μJ
Monaco 517-40-30 517nm 30W 1Hz-1MHz 40μJ
特徴
 
  • フェムト秒高出力: 350 fs, 30W (40 μJ @ 750 kHz / 517 nm)
  • 幅広い繰返周波数:シングルショット ~ 1 MHz、高繰返し対応:1 ~ 50 MHz(AOMによるパルスピッキングなし)
  • パルス幅可変機能 (<350 fs ~ >10 ps) *IRモデルのみ
  • 優れたビーム質 (M2 <1.2)
  • 完全密閉筐体のワンボックス設計
  • 高加速寿命試験(HALT)、加速ストレス性能試験(HASS)を採用
  • イーサネット接続によるリモートアクセスが可能

アプリケーション例
 
薄膜パターニング 材質|基板上の薄膜
内容|ITO等の薄膜を除去するパターニング加工
Si微細加工 材質|シリコンウエハ
内容|シリコンウエハへ微細加工が行えます
精密微細加工 材質|各種金属
内容|精密な部品の微細加工が行えます
加工例
 
材質|ガラス
内容|ガラス基板への溝加工
材質|サファイア
内容|サファイア基板への微細加工
販売店情報|コヒレント・ジャパン株式会社
      〒151-0053 東京都渋谷区代々木2-1-1 新宿マインズタワー26階
      TEL 03-5365-7100 / FAX 03-5365-7281
      WEB www.coherent.co.jp
メーカ情報|COHERENT, Inc.
      5100 Patrick Henry Drive Santa Clara, CA 95054 USA
      WEB www.coherent.com