[特徴・概要]
Q30XシリーズはマイクロVIAやMCM(マイクロ・チップ・モジュール)の穴あけ加工、マーキング、マイクロマシン加工や素材加工装置などに搭載されているレーザでLD励起の QスイッチUV固体レーザとしては高い出力を持っています。このレーザは DCP(ダイレクト・カップルド・ポンプ)技術を採用し高効率な励起を行っております。そのためLDへのカレント電流を低くすることができ、長期にわたる安定した発振が行えます。これは産業用として装置のダウンタイムを縮めることに大きく貢献しています。さらにハイパワーレーザであるにもかかわらず高安定でビーム品質はM2<1.2となっています。また高調波(波長変換)結晶も共振器中に組み込まれているイントラ・キャビティー・タイプでハイパワーでありながら高調波(波長変換)結晶はロングライフでシフターなどによる調整も不要です。
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| 主な仕様 |
Q30Xシリーズ |
| 波長 | 355nm |
| 出力 | 10W (Q301) |
| 繰り返し周波数 | 0Hz - 250kHz |
| パルスエネルギー | 1mJ (Q301) |
| パルス幅 | 35ns@10kHz (Q301) |
| モード | TEM00 M2≦1.2 |
| ビーム径 1/e2 | -- |
| ビーム拡がり角 | 1.8mrad |
| 安定性 | パルス間(rms) 1.5% 長期間(8h) ±2% |
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