移動ステージ＆ラボジャッキ

移動ステージ＆ラボジャッキ

メーカー｜株式会社モーショントラスト
モデル名｜直交型ステージ
販売店名｜株式会社モーショントラスト

直交型両軸エアガイド仕様にて構成した、高精度位置決め且つ、両軸スキャン駆動を追求した直交型両軸エアガイドステージ、高タクト・整定時間・位置決め精度を重視したリニアガイドステージ です。
 
特徴
 
・高精度位置決め
・両軸スキャン駆動
・液晶製造装置などで幅広く利用
製作実績
 
露光装置用XYステージ
(リニアガイド仕様）		 ストローク 900mm×930mm
最高速度 900mm/sec
繰り返し位置決め精度 ±0.09μm ※精度検査時搭載荷重：約300kg(ダミーウェイト)　
整定時間 125msec ※精度検査時搭載荷重：約300kg(ダミーウェイト)
露光装置用XYステージ
(リニアガイド仕様）		 ストローク 1,320mm×3,320mm
最高速度 1,300mm/sec
繰り返し位置決め精度 ±0.06μm ※精度検査時搭載荷重：約600kg(ダミーウェイト)　
整定時間 200msec ※精度検査時搭載荷重：約600kg(ダミーウェイト)
開発機ステージ動画 高タクトステージ
・下軸ストローク：±175mm
・上軸ストローク：±200mm
・最高速度：1,500mm/sec
・最大(平均)加速度：2G
・整定時間：30msec(位置決め完了幅±0.25μm)
・繰り返し位置決め精度：±1μm
販売店情報｜株式会社モーショントラスト　横浜事業所
　　　　　　〒231-0062 神奈川県横浜市中区桜木町1-1-7　ヒューリックみなとみらい 12F
　　　　　　TEL 045-228-8703 / FAX 045-228-8713
　　　　　　WEB www.motion-trust.co.jp
メーカ情報｜株式会社モーショントラスト
　　　　　　〒919-0812 福井県あわら市柿原46-1-1
　　　　　　WEB www.motion-trust.co.jp
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