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メーカー|株式会社モーショントラスト
モデル名|直交型ステージ
販売店名|株式会社モーショントラスト
直交型両軸エアガイド仕様にて構成した、高精度位置決め且つ、両軸スキャン駆動を追求した直交型両軸エアガイドステージ、高タクト・整定時間・位置決め精度を重視したリニアガイドステージ です。
特徴
・高精度位置決め
・両軸スキャン駆動
・液晶製造装置などで幅広く利用
製作実績
露光装置用XYステージ
(リニアガイド仕様)
ストローク
900mm×930mm
最高速度
900mm/sec
繰り返し位置決め精度
±0.09μm ※精度検査時搭載荷重:約300kg(ダミーウェイト)
整定時間
125msec ※精度検査時搭載荷重:約300kg(ダミーウェイト)
露光装置用XYステージ
(リニアガイド仕様)
ストローク
1,320mm×3,320mm
最高速度
1,300mm/sec
繰り返し位置決め精度
±0.06μm ※精度検査時搭載荷重:約600kg(ダミーウェイト)
整定時間
200msec ※精度検査時搭載荷重:約600kg(ダミーウェイト)
開発機ステージ動画
高タクトステージ
・下軸ストローク:±175mm
・上軸ストローク:±200mm
・最高速度:1,500mm/sec
・最大(平均)加速度:2G
・整定時間:30msec(位置決め完了幅±0.25μm)
・繰り返し位置決め精度:±1μm
販売店情報|株式会社モーショントラスト 横浜事業所
〒231-0062 神奈川県横浜市中区桜木町1-1-7 ヒューリックみなとみらい 12F
TEL 045-228-8703 / FAX 045-228-8713
WEB
www.motion-trust.co.jp
メーカ情報|株式会社モーショントラスト
〒919-0812 福井県あわら市柿原46-1-1
WEB
www.motion-trust.co.jp
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