レーザービギナー
第5回　レーザーの種類（概略）紫外線レーザー
レーザーと言ってもその種類は様々です。加工用のレーザーについて少しご紹介します。
今回は紫外線レーザー（UVレーザー）について紹介します。

■加工用紫外線レーザー

今回は加工用レーザーの種類第3回目です。今回は紫外線レーザーについてご紹介します。紫外線の波長は380nmより短い領域になります。
ではどのような種類があるのか見てみましょう。

固体レーザー系
固体レーザーの一種でNdドープ(Nd:YAG)やYLF、YVO4、YAlO3等の種類があります。CW(連続)発振とパルス発振があり、波長はNd:YAGの場合基本波1064nmの1/3で355nmとなります。出力は数mWから十数Wでアプリケーションとしては微細加工がほとんどです。その他は基板切断、VIA穴あけ、光造形、レーザーリフトオフなどの分野で使用されております。

赤外線レーザーが活躍している現場と言えば金属溶接や金属切断でしょうか
アプリケーションとしてはリソグラフィー、TFTアニール、穴空け、微細加工、変わったところでは薄膜作製（PLD）などがあります。
その他にも純粋な意味での加工とは異なりますが眼科手術で用いられるレーシックや癌細胞を破壊する時にも使われています。

可視光と言えばグリーンが代表的です

他のレーザーに比べるとかなり種類は少ないですね。
ただ現在もっとも最先端技術として活躍しているレーザーで電子産業にはなくてはならないレーザーとなっています。
一覧に戻る　　　
>>