レーザー加工においてレーザーや室内はもちろん装置のレーザー加工エリアの除湿を行うことが増えてきました。これはレーザー加工の環境を一定にすることで微細で精密な加工を安定して精度良く加工が行えるからです。特に光学系は湿度により大気中に含まれる不純物がレーザーと反応して光学部品表面を痛めたり汚したりすることがあり湿度を嫌うため光学系のエリアをパージしたり除湿を行います。目的や使用箇所に応じた装置があります。