エアードライヤー（圧縮空気除湿装置）とは配管中のエアーの湿度を取るための装置で冷凍式、メンブレン式、吸着式などの方式があります。冷凍式はエアーを冷却して空気中の水分を結露させて除湿を行う方式で、エアコンの除湿などにも使われています。メンブレン式は水分を通し空気を通さない特殊なフィルターにエアーを通し除湿します。吸着式は乾燥剤に水分を吸着させて除湿を行う方式です。光学系のデブリ付着防止や光学系内にエアーを送り続けることで陽圧を保ち埃やミストの侵入を防ぐために使用します。またレーザーヘッド内の湿度除去にも使用されたりします。