精密空調機とは精密加工を行う部屋や装置そのものを精密に温度や湿度を調整するための機器になります。加工が微細になって精度が要求されるとステージなどの制御機器が温度変化による位置ずれを起こしてしまいます。またワークそのものも温度管理された環境下で保管や加工を行わないと熱膨張により加工精度のばらつきが出てしまいます。精密空調機はこれらの微細精密加工を行うために温度を緻密に管理する機器として設置されます。フェムト秒レーザー/ピコ秒レーザーなどの微細加工においては、装置内の温度管理が重要となります。