精度の高い加工を行うにはレーザーや光学系を振動から守るために防振台が必要になってきます。防振台は除振台とも言われることもあります。通常レーザー発振器を使用する場合は防振台に乗せて、その後、光学系をレイアウトしていきます。もちろんステージなども同じ防振台の上に載せて、それぞれが振動に対して別々の揺れを生じないようにします。防振のための構造やテーブル板の構造の違いからいくつかの組み合わせが可能です。