レーザー発振器 エキシマレーザー

エキシマレーザー(VUV:真空紫外線 / パルス幅:ns / 波長: 193nm)

メーカー|ライトマシナリー(カナダ)
モデル名|IPEX-800
販売店名|ビーム株式会

経済的なIPEX800シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD(パルスレーザーデポジション)、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
IPEX-842 ArF
IPEX-844 ArF
IPEX-846 ArF
IPEX-848 ArF
193nm 3.0W
6.0W
15W
30W
1Hz-20Hz
1Hz-40Hz
1Hz-100Hz
1Hz-200Hz
230mJ
IPEX-862 ArF
IPEX-864 ArF
IPEX-866 ArF
IPEX-868 ArF
193nm 2.5W
5.0W
10W
20W
1Hz-12Hz
1Hz-25Hz
1Hz-50Hz
1Hz-100Hz
250mJ
特徴
 
  • 長いガス寿命
  • 優れたビームの均一性
  • パルス間のエネルギー安定性
  • 高い信頼性
  • 高精度ビームポインティングスタビリティー

アプリケーション例
 
樹脂への微細加工 材質|各種樹脂
内容|各種樹脂へ微細加工が行えます
ガラスへの微細加工 材質|ガラス
内容|ガラスへ微細加工が行えます
薄膜除去 材質|各種薄膜
内容|各種基板上の薄膜除去加工が行えます
加工例
 
材質|ポリイミド(PI)
内容|ポリイミド樹脂へ高品質なφ50μmの穴加工
販売店情報|ビーム株式会社
      〒194-0215 東京都町田市小山ヶ丘2-2-5 まちだテクノパーク センタービル6F
      TEL 042-797-4141 / FAX 042-797-4441
      WEB www.beams-inc.jp
メーカ情報|LightMachinery Inc.
      80 Colonnade Road North, Unit #1, Ottawa, ON K2E 7L2, Canada
      WEB lightmachinery.com