レーザー発振器 エキシマレーザー

エキシマレーザー（VUV：真空紫外線 / パルス幅：ns / 波長： 193nm）

メーカー｜ライトマシナリー（カナダ）
モデル名｜IPEX-800
販売店名｜ビーム株式会

経済的なIPEX800シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD（パルスレーザーデポジション）、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
IPEX-842 ArF
IPEX-844 ArF
IPEX-846 ArF
IPEX-848 ArF		 193nm 3.0W
6.0W
15W
30W		 1Hz-20Hz
1Hz-40Hz
1Hz-100Hz
1Hz-200Hz		 230mJ
カタログ
(PDF)
IPEX-862 ArF
IPEX-864 ArF
IPEX-866 ArF
IPEX-868 ArF		 193nm 2.5W
5.0W
10W
20W		 1Hz-12Hz
1Hz-25Hz
1Hz-50Hz
1Hz-100Hz		 250mJ
カタログ
(PDF)
特徴
 
  • 長いガス寿命
  • 優れたビームの均一性
  • パルス間のエネルギー安定性
  • 高い信頼性
  • 高精度ビームポインティングスタビリティー
アプリケーション例
 
樹脂への微細加工 材質｜各種樹脂
内容｜各種樹脂へ微細加工が行えます
ガラスへの微細加工 材質｜ガラス
内容｜ガラスへ微細加工が行えます
薄膜除去 材質｜各種薄膜
内容｜各種基板上の薄膜除去加工が行えます
加工例
 
材質｜ポリイミド（PI）
内容｜ポリイミド樹脂へ高品質なφ50μmの穴加工
販売店情報｜ビーム株式会社
　　　　　　〒194-0215　東京都町田市小山ヶ丘2-2-5 まちだテクノパーク センタービル6F
　　　　　　TEL 042-797-4141 / FAX 042-797-4441
　　　　　　WEB www.beams-inc.jp
メーカ情報｜LightMachinery Inc.
　　　　　　80 Colonnade Road North, Unit #1, Ottawa, ON K2E 7L2, Canada
　　　　　　WEB lightmachinery.com

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