レーザー発振器 エキシマレーザー

エキシマレーザー（VUV：真空紫外線 / パルス幅：ns / 波長： 193nm）

メーカー｜エムレイズ（ドイツ）
モデル名｜MLI
販売店名｜ビーム株式会社

小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5～10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
MLI200 ArF
MLI500 ArF
MLI1000 ArF		 193nm 1.2W
3.0W
6.0W		 1Hz-200Hz
1Hz-500Hz
1Hz-1kHz		 6mJ
カタログ
(PDF)
MLI500LC ArF
MLI1000LC ArF		 193nm 3.0W
6.0W		 1Hz-500Hz
1Hz-1kHz		 6mJ
カタログ
(PDF)
特徴
 
  • コロナ放電方式
  • 全金属シールチューブ
  • ソリッドステート回路
  • 高い信頼性
  • 数十億パルスの長寿命チューブ
アプリケーション例
 
樹脂への微細加工 材質｜各種樹脂
内容｜各種樹脂へ微細加工が行えます
ガラスへの微細加工 材質｜ガラス
内容｜ガラスへ微細加工が行えます
薄膜除去 材質｜各種薄膜
内容｜各種基板上の薄膜除去加工が行えます
加工例
 
材質｜
内容｜掲載がありません
販売店情報｜ビーム株式会社
　　　　　　〒194-0215　東京都町田市小山ヶ丘2-2-5 まちだテクノパーク センタービル6F
　　　　　　TEL 042-797-4141 / FAX 042-797-4441
　　　　　　WEB www.beams-inc.jp
メーカ情報｜MLase AG
　　　　　　Industriestrasse 17, 82110 Germering Germany
　　　　　　WEB mlase.com
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