モデル名 |
波長 |
出力 |
繰り返し周波数 |
パルスエネルギー |
カタログ |
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CL-7020 CL-7050 CL-7100 |
193nm |
5W 10W 20W |
1Hz-20Hz 1Hz-50Hz 1Hz-100Hz |
250mJ |
カタログ (PDF) |
特徴 |
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- Pseudo放電スイッチにより高寿命を実現 (新開発)
- 単一設計でコンパクトサイズ
- 出力安定化を含むPC制御
- プリミックスガスの使用で安全
- コロナ予備電離とセラミックチューブ採用で長いガス寿命
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アプリケーション例 |
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樹脂への微細加工 |
材質|各種樹脂 内容|各種樹脂へ微細加工が行えます |
ガラスへの微細加工 |
材質|ガラス 内容|ガラスへ微細加工が行えます |
薄膜除去 |
材質|各種薄膜 内容|各種基板上の薄膜除去加工が行えます |
加工例 |
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材質| 内容|掲載がありません |
販売店情報|株式会社オプトピア
〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 かながわサイエンスパーク 西棟6F
TEL 044-812-5911 / FAX 044-812-5921
WEB
optopia.co.jp
メーカ情報|Optosystems Ltd.
142191, Promyshlennaya, 2B, Troitsk, Moscow, Russia
WEB
www.optosystems.ru