レーザー発振器 LD励起 固体パルスレーザー

LD励起 固体パルスレーザー(IR:赤外線 / パルス幅:fs / 波長: 1μm帯)

メーカー|コヒレント(アメリカ)
モデル名|RAPID FX
販売店名|コヒレント・ジャパン株式会社

RAPID FXは、既存のRAPIDシリーズの極短パルスモデルとして登場したフェムト秒発振レーザです。産業用レーザに求められる24時間稼働を前提として設計されており、平均出力>10W@100 kHzまたは200 kHzで、高スループットな加工を実現します。様々なアプリケーションに対応すべく、内蔵AOMプロセスシャッターや外部トリガー制御により、シングルショットからのパルス選択が可能です。ファイバーシードレーザと安定性の高い増幅部の組み合わせにより、優れたビームクオリティを長期に渡って実現します。
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
RAPID FX 1030nm 10W 100kHz 100μJ
特徴
 
  • フェムト秒高パルスエネルギー:~100 μJ @ 100 kHz
  • 10W @ 1030 nm, 900 fs
  • 高繰返周波数:~ 200 kHz
  • パルスオンデマンド機能
  • 優れたビーム質 (M2 <1.4)
  • AOMプロセスシャッター内蔵
  • 産業用要件をみたす高い安定性と高信頼性設計
  • 小型レーザヘッド: 68 x 26 x 29 cm (電装部品をすべて一体化)

アプリケーション例
 
薄膜パターニング 材質|基板上の薄膜
内容|ITO等の薄膜を除去するパターニング加工
Si微細加工 材質|シリコンウエハ
内容|シリコンウエハへ微細加工が行えます
精密微細加工 材質|各種金属
内容|精密な部品の微細加工が行えます
加工例
 
材質|ガラス
内容|ガラス基板への溝加工
材質|サファイア
内容|サファイア基板への微細加工
販売店情報|コヒレント・ジャパン株式会社
      〒151-0053 東京都渋谷区代々木2-1-1 新宿マインズタワー26階
      TEL 03-5365-7100 / FAX 03-5365-7281
      WEB www.coherent.co.jp
メーカ情報|COHERENT, Inc.
      5100 Patrick Henry Drive Santa Clara, CA 95054 USA
      WEB www.coherent.com