レーザー発振器 LD励起 固体パルスレーザー

LD励起 固体パルスレーザー(DUV:深紫外線 / パルス幅:ns / 波長: 266nm)

メーカー|アドバンスド オプトウェーブ(アメリカ)
モデル名|AONano Precision 266
販売店名|AOCジャパン株式会社

Advanced OptowaveのAONano Precision 266は業界をリードする高調波発生技術とエンジニアリング設計を採用し、高い変換効率、優れた長期安定性、長寿命を実現しています。水冷設計により、様々な過酷な環境下でも信頼性の高い動作が可能で、24時間365日連続生産のニーズに最適なレーザーです。出力は0.15W、0.5W、1W、3Wから選択可能です。広い繰り返し周波数範囲、優れたビーム品質(M2<1.2)、ビーム真円度(> 90%)を備え、サファイアからのGaN剥離、非炭化冷間加工、ガラス粒子除去、チップ検査など、様々な用途に最適です。
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
AONano Precision 266 0.15W-1K 266nm 0.15W 500Hz-5kHz 150μJ
AONano Precision 266 0.5W-30K 266nm 0.5W 20kHz-150kHz 16μJ
AONano Precision 266 1W-30K 266nm 1W 20kHz-150kHz 32μJ
AONano Precision 266 3W-30K 266nm 3W 30kHz-150kHz 100μJ
特徴
 
  • 業界をリードする高調波発生
  • 266nmの深紫外線波長
  • コスト効率の高い製品
  • 産業グレードのDUVナノ秒レーザー
  • 優れたビーム品質
  • 長期安定性と信頼性

アプリケーション例
 
シリコン基板の穴加工 材質|シリコン基板
内容|シリコン基板へ微細切断や微細穴加工が行えます
ガラスの穴加工 材質|ガラス
内容|ガラスへ微細穴加工が行えます
精密微細切断加工 材質|各種金属
内容|ステントなどの精密な部品の微細切断加工が行えます
加工例
 
材質|シリコン、GaN、ガラスなど
内容|各種ウエハへの微細高品質マーキング加工
材質|ガラス
内容|レーザーリフトオフ加工
材質|LED
内容|LEDリフトオフ加工
販売店情報|AOCジャパン株式会社
      〒196-0015 東京都 昭島市 昭和町5-6-8
      TEL 042-508-3497 / FAX ----
      WEB www.aoc-japan.com
メーカ情報|Advanced Optowave Corporation
      105 Comac St. Ronkonkoma, NY 11779 USA
      WEB www.a-optowave.com