レーザー光学系 ビームエキスパンダ
レーザーから出射されるビームは小さいものではφ1mm以下のものもあります。ビーム径が小さいと焦点でのビームスポット径を小さくすることが難しく微細加工では問題になってしまいます。そこでビーム径を拡張するための光学系のビームエキスパンダを光路に入れることによりこの問題を解決します。固定倍率だけでなくズームタイプなども販売されています。
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メーカー | 種類 | 対応波長 |
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DUV-NIR | ||
9μm/10μm | ||
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DUV-NIR | ||
9μm/10μm | ||
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1μm | ||
532nm/1μm | ||
受注生産対応 | ||
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固体レーザー用 ビームエキスパンダ | UV-IR | |
固体レーザー用 ビームエキスパンダ | UV-IR | |
CO2レーザー用 ビームエキスパンダ | 9μm/10μm | |
固体レーザー用 ビームエキスパンダ | DUV-NIR |