レーザー微細加工装置 (レーザー微細加工システム)

レーザー微細加工装置 (レーザー微細加工システム)

レーザー微細加工ではプロセスを構築したり解明するためにまずは研究機を導入する場合も多くあります。ここでは研究用の基礎となる汎用のレーザー微細加工システムを紹介します。最近では紫外線(UV)レーザーの汎用機や短パルスレーザーの汎用機も出ており、光学系やステージはもちろんのことソフトウエアによるプログラムで簡単に制御が可能なので購入して直ぐに利用できるという点では重宝します。
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メーカー モデル名 波長 出力
 
タカノ株式会社
Takano Co., Ltd.
日本

販売:
タカノ株式会社
UVレーザーディスクトップ加工機
266nm 200mW
UVレーザー加工機 CHARIS-266/CHARIS-355 266nm-355nm 200-600mW
Optec s.a.
オプテック
ベルギー

販売:
ビーム株式会社
エキシマレーザー微細加工装置 MicroMaster
193nm-248nm 25W-50W
極短パルスレーザー微細加工装置 MM200USP 266nm-1064nm ----
フェムト秒レーザー微細加工装置 WS Turret 343nm-1030nm 60W-400W
澁谷工業株式会社
Shibuya Corporation
日本

販売:
澁谷工業株式会社
レーザアブレーション加工機 SLAシリーズ 355nm/532nm 20W-40W
超精密ファイバレーザ加工機 SPF2305A&SPF3907A 1070nm 500W
超精密炭酸ガスレーザ加工機 SPL2305A&SPL3905A 10.6µm 200W-400W
LPKF Laser & Electronics AG
エルピーケーエフレーザー
ドイツ
MicroLine 5000 355nm 10W-15W