レーザー発振器 エキシマレーザー

エキシマレーザー（VUV：真空紫外線 / パルス幅：ns / 波長： 248nm）

メーカー｜ATL Lasertechnik（ドイツ）
モデル名｜ATLEX-1000 L KrF
販売店名｜株式会社インテック

ATL Lasertechnik GmbHは1993年に設立され、1994年に小型、高繰り返し周波数、短パルスのエキシマレーザーを開発し、UVレーザー技術に画期的な進歩をもたらしました。 ATLはいくつかの製品世代を通じてこの革新的なコンセプトを洗練させ、特許取得のOPECによる性能の効率化、メンテナンス性の向上、操作性の向上、ガスライフの向上など数々の重要な機構に新しい発想と技術を投入し、この分野の技術リーダーであり続けています。
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
ATLEX-1000 L KrF 248nm 10W 1Hz-1kHz 15mJ
カタログ
(PDF)
特徴
 
  • コロナ予備電離
  • ソリッドステートスイッチ
  • TMC (Total-Metal-Ceramic) セラミックスチャンバー
  • ガス処理を容易にする統合 4 バルブ システム
  • 外部制御用にRS-485, RS232, USB 、光ファイバーインターフェースを標準装備
  • 運転モードにはエネルギー安定モードを搭載
  • RoHS準拠およびCE規格に適合
アプリケーション例
 
樹脂へのマーキング 材質｜各種樹脂
内容｜各種樹脂へマーキング加工が行えます
ガラスへの微細加工 材質｜ガラス
内容｜ガラスへ微細加工が行えます
薄膜除去 材質｜各種薄膜
内容｜各種基板上の薄膜除去加工が行えます
加工例
 
材質｜樹脂チューブ
内容｜微細穴開け加工
材質｜ポリイミド
内容｜微細溝加工
材質｜ポリスチレン
内容｜微細角穴ザグリ加工
販売店情報｜株式会社インテック
　　　　　　〒167-0043 東京都杉並区上荻2-39-17 上荻マルモビル101
　　　　　　TEL 03-3301-9671 / FAX 03-3301-9672
　　　　　　WEB www.intech-jp.com<
メーカ情報｜ATL Lasertechnik GmbH
　　　　　　Burger Str.28,D-42929 Wermelskirchen,Germany
　　　　　　WEB www.atl-laser.de
一覧に戻る　　　　
>>