エキシマレーザー(VUV:真空紫外線 / パルス幅:ns / 波長: 248nm)
 
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メーカー モデル名 波長 出力 繰り返し パルスエネルギー
 
ATL Lasertechnik GmbH
エーティーエル レーザテクニック
ドイツ

販売:
株式会社インテック
ATLEX 300 I 248nm 4W 1Hz-300Hz 15mJ
ATLEX 500 I 6.5W 1Hz-500Hz 15mJ
ATLEX 500 L 6.5W 1Hz-500Hz 15mJ
ATLEX 1000 L 10W 1Hz-1kHz 15mJ
LightMachinery Inc.
ライトマシナリー
カナダ

販売:
ビーム株式会社
IPEX-740
248nm 40W 1Hz-100Hz 400mJ
IPEX-760 30W 1Hz-50Hz 600mJ
IPEX-840 80W 1Hz-200Hz 400mJ
IPEX-860 60W 1Hz-100Hz 600mJ
MLase AG
エムレイズ
ドイツ

販売:
ビーム株式会社
MLI-200 248nm 2W 1Hz-200Hz 10mJ
MLI-500 5W 1Hz-500Hz 10mJ
MLI-1000 10W 1Hz-1kHz 10mJ
Optosystems Ltd.
オプトシステムズ
ロシア

販売:
株式会社オプトピア
CL-5000 248nm 10W 1Hz-300Hz 40mJ
CL-7000 35W 1Hz-100Hz 400mJ
Coherent, Inc.
コヒレント
アメリカ
ExciStar 248nm 1-5W 1Hz-1kHz 8mJ
IndyStar 8W 1Hz-2kHz 4-8mJ
COMPex 7-33W 1Hz-110Hz 150-750mJ
LEAP 80-300W 1-300Hz 650mJ-1000mJ