レアガスとハロゲンガスに高い電圧を瞬間的にかけることで励起状態を作り出し、紫外領域で高い出力のパルス発振を行うガスレーザーです。パルス幅は数十nsで、ビームの断面は放電領域の形状を反映し長方形のビームを高出力で発振します。ビームが太く、パルスエネルギーも 大きいので、ビームを一点に集中させる加工よりも、比較的大きな面積を高い照射強度で一括処理加工するような応用に最も適しています。産業での使用も多いです。