レーザー発振器 エキシマレーザー

エキシマレーザー(UV:紫外線 / パルス幅:ns / 波長: 351nm)

メーカー|ライトマシナリー(カナダ)
モデル名|IPEX-800
販売店名|ビーム株式会

経済的なIPEX800シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD(パルスレーザーデポジション)、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能
 
モデル名 波長 出力 繰り返し周波数 パルスエネルギー カタログ
 
IPEX-842 XeF
IPEX-844 XeF
IPEX-846 XeF
IPEX-848 XeF
351nm 5.5W
11W
22W
45W
1Hz-25Hz
1Hz-50Hz
1Hz-100Hz
1Hz-200Hz
275mJ
IPEX-862 XeF
IPEX-864 XeF
IPEX-866 XeF
IPEX-868 XeF
351nm 4.5W
9.0W
15W
30W
1Hz-15Hz
1Hz-30Hz
1Hz-50Hz
1Hz-100Hz
350mJ
特徴
 
  • 長いガス寿命
  • 優れたビームの均一性
  • パルス間のエネルギー安定性
  • 高い信頼性
  • 高精度ビームポインティングスタビリティー

アプリケーション例
 
樹脂への微細加工 材質|各種樹脂
内容|各種樹脂へ微細加工が行えます
ガラスへの微細加工 材質|ガラス
内容|ガラスへ微細加工が行えます
薄膜除去 材質|各種薄膜
内容|各種基板上の薄膜除去加工が行えます
加工例
 
材質|ポリイミド(PI)
内容|ポリイミド樹脂へ高品質なφ50μmの穴加工
販売店情報|ビーム株式会社
      〒194-0215 東京都町田市小山ヶ丘2-2-5 まちだテクノパーク センタービル6F
      TEL 042-797-4141 / FAX 042-797-4441
      WEB www.beams-inc.jp
メーカ情報|LightMachinery Inc.
      80 Colonnade Road North, Unit #1, Ottawa, ON K2E 7L2, Canada
      WEB lightmachinery.com