LD励起 固体パルスレーザー(DUV:深紫外線 / パルス幅:ps / 波長: 266nm)
 
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メーカー モデル名 波長 出力 繰り返し パルスエネルギー
 
EdgeWave GmbH
エッジウェーブ
ドイツ

販売:
ビーム株式会社
PX DUV 266nm 20W 1Hz-100MHz 200μJ
スペクトロニクス株式会社
Spectronix, Corp.
日本
LDH-X0300 266nm 2W 50kHz-1MHz 20μJ